Silán (SiH4)

Technické parametre

Silán je zlúčenina kremíka a vodíka. Je to všeobecný termín pre sériu zlúčenín vrátane monosilánu (SiH4), disilánu (Si2H6) a niektorých zlúčenín kremíka a vodíka s vyšším obsahom. Medzi nimi je najbežnejší monosilán, niekedy skrátene označovaný ako silán. Silán je bezfarebný plyn s nechutným cesnakovým zápachom. Rozpustný vo vode, takmer nerozpustný v etanole, éteri, benzéne, chloroforme, kremíku, chloroforme a tetrachloride kremičitom. Chemické vlastnosti silánov sú oveľa aktívnejšie ako alkánov a ľahko sa oxidujú. Pri kontakte so vzduchom môže dôjsť k samovznieteniu. Nereaguje s dusíkom pod 25 °C a nereaguje s uhľovodíkovými zlúčeninami pri izbovej teplote. Požiar a výbuch silánu sú výsledkom reakcie s kyslíkom. Silán je mimoriadne citlivý na kyslík a vzduch. Silán s určitou koncentráciou bude tiež explozívne reagovať s kyslíkom pri teplote -180 °C. Silán sa stal najdôležitejším špeciálnym plynom používaným v procesoch polovodičovej mikroelektroniky a používa sa pri príprave rôznych mikroelektronických filmov vrátane monokryštálových filmov, mikrokryštalických, polykryštalických filmov, oxidu kremíka, nitridu kremíka a silicidov kovov. Mikroelektronické aplikácie silánu sa stále dôkladne rozvíjajú: nízkoteplotná epitaxia, selektívna epitaxia a heteroepitaxiálna epitaxia. Nielen pre kremíkové zariadenia a kremíkové integrované obvody, ale aj pre zložené polovodičové zariadenia (arzenid gália, karbid kremíka atď.). Má tiež uplatnenie pri príprave supermriežkových kvantových jamových materiálov. Dá sa povedať, že silán sa v modernej dobe používa takmer vo všetkých pokročilých výrobných linkách integrovaných obvodov. Použitie silánu ako filmu a povlaku obsahujúceho kremík sa rozšírilo z tradičného mikroelektronického priemyslu do rôznych oblastí, ako je oceliarstvo, strojárstvo, chemikálie a optika. Ďalším potenciálnym využitím silánu je výroba vysokovýkonných keramických častí motorov, najmä použitie silánu na výrobu silicidovej (Si3N4, SiC atď.) mikropráškovej technológie priťahuje čoraz väčšiu pozornosť.

Aplikácia:

①Elektronické:

Silán sa nanáša na polykryštalické kremíkové vrstvy na kremíkových doštičkách pri výrobe polovodičov a tesniacich materiálov.

②Solárne:

Silán sa používa pri výrobe solárnych fotovoltaických modulov.

③Priemyselné:

Používa sa v energeticky úspornom zelenom skle a aplikuje sa na proces nanášania tenkých vrstiev parou.

Normálny balík:

Výhoda:

①Viac ako desať rokov na trhu;

②Výrobca s certifikátom ISO;

③Rýchle dodanie;

④Stabilný zdroj surovín;

⑤Online analytický systém pre kontrolu kvality v každom kroku;

⑥Vysoké požiadavky a dôkladný postup pri manipulácii s fľašou pred plnením;

⑦Čistota: vysoká čistota, elektronická kvalita;

⑧Použitie: materiály pre solárne články; výroba vysoko čistého polysilikónu, oxidu kremíka a optických vlákien; výroba farebného skla.