silan (SiH4)

Technické parametre

Silán je zlúčenina kremíka a vodíka. Je to všeobecný termín pre sériu zlúčenín vrátane monosilánu (SiH4), disilanu (Si2H6) a niektorých zlúčenín kremíka a vodíka vyššej úrovne. Medzi nimi je najbežnejší monosilán, niekedy skrátene označovaný ako silan. Silán je bezfarebný plyn s nechutným zápachom cesnaku. Rozpustný vo vode, takmer nerozpustný v etanole, éteri, benzéne, chloroforme, chloroforme kremičitom a chloridu kremičitom. Chemické vlastnosti silánov sú oveľa aktívnejšie ako alkány a ľahko sa oxidujú. Pri kontakte so vzduchom môže dôjsť k samovoľnému horeniu. Nereaguje s dusíkom pod 25 °C a nereaguje s uhľovodíkovými zlúčeninami pri teplote miestnosti. Požiar a výbuch silánu sú výsledkom reakcie s kyslíkom. Silán je mimoriadne citlivý na kyslík a vzduch. Silán s určitou koncentráciou bude výbušne reagovať aj s kyslíkom pri teplote -180°C. Silán sa stal najdôležitejším špeciálnym plynom používaným v procesoch polovodičovej mikroelektroniky a používa sa pri príprave rôznych mikroelektronických filmov, vrátane monokryštálových filmov, mikrokryštalických, polykryštalických, oxidu kremičitého, nitridu kremíka a kovových silicídov. Mikroelektronické aplikácie silanu sa stále do hĺbky vyvíjajú: nízkoteplotná epitaxia, selektívna epitaxia a heteroepitaxia. Nielen pre kremíkové zariadenia a kremíkové integrované obvody, ale aj pre zložené polovodičové súčiastky (arzenid gália, karbid kremíka atď.). Má tiež uplatnenie pri príprave supermriežkových materiálov kvantových vrtov. Dá sa povedať, že silán sa v modernej dobe používa takmer vo všetkých vyspelých výrobných linkách integrovaných obvodov. Aplikácia silanu ako filmu a povlaku obsahujúceho kremík sa rozšírila z tradičného mikroelektronického priemyslu do rôznych oblastí, ako je oceľ, stroje, chemikálie a optika. Ďalšou potenciálnou aplikáciou silánu je výroba vysokovýkonných keramických častí motora, najmä použitie silanu na výrobu silicidovej (Si3N4, SiC, atď.) mikropráškovej technológie priťahuje čoraz väčšiu pozornosť.

Aplikácia:

①Elektronické:

Silán sa nanáša na vrstvy polykryštalického kremíka na kremíkových doštičkách pri výrobe polovodičov a tmelov.

②Slnečné žiarenie:

Silán sa používa pri výrobe solárnych fotovoltaických modulov.

③Priemysel:

Používa sa v energeticky úspornom zelenom skle a aplikuje sa na proces naparovania tenkých vrstiev.

Normálny balík:

Výhoda:

①Viac ako desať rokov na trhu;

② Výrobca certifikátu ISO;

③ Rýchle doručenie;

④ Stabilný zdroj surovín;

⑤On-line analytický systém pre kontrolu kvality v každom kroku;

⑥ Vysoké požiadavky a starostlivý proces na manipuláciu s valcom pred plnením;

⑦ Čistota: vysoká čistota elektronickej triedy;

⑧Použitie: materiály solárnych článkov; výroba vysoko čistého polysilikónu, oxidu kremičitého a optického vlákna; výroba farebného skla.