Tetrafluorid uhličitý (CF4)

Technické parametre

Fluorid uhličitý je halogénovaný uhľovodík s chemickým vzorcom CF4.Môže sa považovať za halogénovaný uhľovodík, halogénovaný metán, perfluórovaný uhľovodík alebo za anorganickú zlúčeninu.Fluorid uhličitý je bezfarebný plyn bez zápachu, nerozpustný vo vode, rozpustný v benzéne a chloroforme.Stabilný pri normálnej teplote a tlaku, vyhýbajte sa silným oxidantom, horľavým alebo horľavým materiálom.Nehorľavý plyn, pri vystavení vysokej teplote sa vnútorný tlak nádoby zvýši a hrozí nebezpečenstvo prasknutia a výbuchu.Je chemicky stabilný a nehorľavý.Pri izbovej teplote môže fungovať iba kvapalný amoniak-sodík.Fluorid uhličitý je plyn, ktorý spôsobuje skleníkový efekt.Je veľmi stabilný, môže zostať v atmosfére dlhú dobu a je veľmi silným skleníkovým plynom.Fluorid uhličitý sa používa v procese plazmového leptania rôznych integrovaných obvodov.Používa sa tiež ako laserový plyn a používa sa v nízkoteplotných chladivách, rozpúšťadlách, mazivách, izolačných materiáloch a chladiacich kvapalinách pre infračervené detektory.Je to najpoužívanejší plyn na plazmové leptanie v mikroelektronickom priemysle.Je to zmes tetrafluórmetánu s vysokou čistotou plynu a tetrafluórmetánu s vysokou čistotou plynu a vysoko čistého kyslíka.Môže byť široko používaný v kremíku, oxide kremičitom, nitride kremíka a fosfosilikátovom skle.Leptanie tenkovrstvových materiálov, ako je volfrám a volfrám, sa tiež široko používa pri povrchovom čistení elektronických zariadení, výrobe solárnych článkov, laserovej technológii, nízkoteplotnom chladení, kontrole netesností a čistiacich prostriedkoch pri výrobe tlačených obvodov.Používa sa ako nízkoteplotné chladivo a technológia suchého leptania plazmou pre integrované obvody.Bezpečnostné opatrenia pri skladovaní: Skladujte v chladnom, vetranom sklade nehorľavých plynov.Uchovávajte mimo dosahu ohňa a zdrojov tepla.Teplota skladovania by nemala presiahnuť 30°C.Mal by sa skladovať oddelene od ľahko (horľavých) horľavín a oxidantov a vyhýbať sa zmiešanému skladovaniu.Skladovací priestor by mal byť vybavený zariadením na núdzovú úpravu úniku.

Aplikácia:

① Chladivo:

Tetrafluórmetán sa niekedy používa ako nízkoteplotné chladivo.

② Leptanie:

Používa sa pri mikrovýrobe elektroniky samostatne alebo v kombinácii s kyslíkom ako plazmové leptadlo pre kremík, oxid kremičitý a nitrid kremíka.

Normálny balík:

Výhoda:

①Vysoká čistota, najnovšie zariadenie;

② Výrobca certifikátu ISO;

③ Rýchle doručenie;

④On-line analytický systém pre kontrolu kvality v každom kroku;

⑤Vysoká požiadavka a starostlivý proces na manipuláciu s valcom pred plnením;