silan (SiH4)

Technické parametre

Silán je zlúčenina kremíka a vodíka.Je to všeobecný termín pre sériu zlúčenín vrátane monosilánu (SiH4), disilanu (Si2H6) a niektorých zlúčenín kremíka a vodíka vyššej úrovne.Medzi nimi je najbežnejší monosilán, niekedy skrátene označovaný ako silan.Silán je bezfarebný plyn s nechutným zápachom cesnaku.Rozpustný vo vode, takmer nerozpustný v etanole, éteri, benzéne, chloroforme, chloroforme kremičitom a chloridu kremičitom.Chemické vlastnosti silánov sú oveľa aktívnejšie ako alkány a ľahko sa oxidujú.Pri kontakte so vzduchom môže dôjsť k samovoľnému horeniu.Nereaguje s dusíkom pod 25 °C a nereaguje s uhľovodíkovými zlúčeninami pri izbovej teplote.Požiar a výbuch silánu sú výsledkom reakcie s kyslíkom.Silán je mimoriadne citlivý na kyslík a vzduch.Silán s určitou koncentráciou bude výbušne reagovať aj s kyslíkom pri teplote -180°C.Silán sa stal najdôležitejším špeciálnym plynom používaným v procesoch polovodičovej mikroelektroniky a používa sa pri príprave rôznych mikroelektronických filmov, vrátane monokryštálových filmov, mikrokryštalických, polykryštalických, oxidu kremičitého, nitridu kremíka a kovových silicídov.Mikroelektronické aplikácie silanu sa stále do hĺbky vyvíjajú: nízkoteplotná epitaxia, selektívna epitaxia a heteroepitaxiálna epitaxia.Nielen pre kremíkové zariadenia a kremíkové integrované obvody, ale aj pre zložené polovodičové súčiastky (arzenid gália, karbid kremíka atď.).Má tiež uplatnenie pri príprave supermriežkových materiálov kvantových vrtov.Dá sa povedať, že silán sa v modernej dobe používa takmer vo všetkých vyspelých výrobných linkách integrovaných obvodov.Aplikácia silanu ako filmu a povlaku obsahujúceho kremík sa rozšírila z tradičného mikroelektronického priemyslu do rôznych oblastí, ako je oceľ, stroje, chemikálie a optika.Ďalšou potenciálnou aplikáciou silánu je výroba vysokovýkonných keramických častí motora, najmä použitie silanu na výrobu silicidovej (Si3N4, SiC, atď.) mikropráškovej technológie priťahuje čoraz väčšiu pozornosť.

Aplikácia:

①Elektronické:

Silán sa nanáša na vrstvy polykryštalického kremíka na kremíkových doštičkách pri výrobe polovodičov a tmelov.

②Slnečné žiarenie:

Silán sa používa pri výrobe solárnych fotovoltaických modulov.

③Priemysel:

Používa sa v energeticky úspornom zelenom skle a aplikuje sa na proces naparovania tenkých vrstiev.

Normálny balík:

Výhoda:

①Viac ako desať rokov na trhu;

② Výrobca certifikátu ISO;

③ Rýchle doručenie;

④ Stabilný zdroj surovín;

⑤On-line analytický systém pre kontrolu kvality v každom kroku;

⑥ Vysoké požiadavky a starostlivý proces na manipuláciu s valcom pred plnením;

⑦ Čistota: vysoká čistota elektronickej triedy;

⑧Použitie: materiály solárnych článkov;výroba vysoko čistého polysilikónu, oxidu kremičitého a optického vlákna;výroba farebného skla.