Čo je fluorid uhličitý?Aké je využitie?

Čo jefluorid uhličitý?Aké je využitie?

Fluorid uhličitý, tiež známy ako tetrafluórmetán, sa považuje za anorganickú zlúčeninu.Používa sa v procese plazmového leptania rôznych integrovaných obvodov a používa sa aj ako laserový plyn a chladivo.Za normálnej teploty a tlaku je relatívne stabilný, je však potrebné vyhnúť sa kontaktu so silnými oxidantmi, horľavými alebo horľavými materiálmi.Fluorid uhličitý je nehorľavý plyn.Ak sa stretne s vysokou teplotou, spôsobí zvýšenie vnútorného tlaku nádoby a hrozí nebezpečenstvo prasknutia a výbuchu.Zvyčajne môže interagovať iba s kvapalným kovovým činidlom amoniak-sodný pri izbovej teplote.

Fluorid uhličitýje v súčasnosti najväčší plazmový leptací plyn používaný v mikroelektronickom priemysle.Môže byť široko používaný pri leptaní kremíka, oxidu kremičitého, fosfosilikátového skla a iných tenkovrstvových materiálov, čistenie povrchu elektronických zariadení, výroba solárnych článkov, laserová technológia, izolácia v plynnej fáze, nízkoteplotné chladenie, prostriedky na detekciu netesností, a detergenty pri výrobe tlačených obvodov majú veľké množstvo aplikácií.