čo jefluorid uhličitý? Aké je využitie?
Fluorid uhličitý, tiež známy ako tetrafluórmetán, sa považuje za anorganickú zlúčeninu. Používa sa v procese plazmového leptania rôznych integrovaných obvodov a používa sa aj ako laserový plyn a chladivo. Za normálnej teploty a tlaku je relatívne stabilný, je však potrebné vyhnúť sa kontaktu so silnými oxidantmi, horľavými alebo horľavými materiálmi. Fluorid uhličitý je nehorľavý plyn. Ak sa stretne s vysokou teplotou, spôsobí zvýšenie vnútorného tlaku nádoby a hrozí nebezpečenstvo prasknutia a výbuchu. Zvyčajne môže interagovať iba s kvapalným kovovým činidlom amoniak-sodný pri izbovej teplote.
Fluorid uhličitýje v súčasnosti najväčší plazmový leptací plyn používaný v mikroelektronickom priemysle. Môže byť široko používaný pri leptaní kremíka, oxidu kremičitého, fosfosilikátového skla a iných tenkovrstvových materiálov, čistenie povrchu elektronických zariadení, výroba solárnych článkov, laserová technológia, izolácia v plynnej fáze, nízkoteplotné chladenie, prostriedky na detekciu netesností, a detergenty pri výrobe tlačených obvodov majú veľké množstvo aplikácií.
Čas uverejnenia: 1. novembra 2021
