Čo je tetrafluorid uhlíka? Na čo sa používa?

Čo jetetrafluorid uhlíkaAký je to úžitok?

Tetrafluorid uhlíkaTetrafluorometán, tiež známy ako tetrafluórmetán, sa považuje za anorganickú zlúčeninu. Používa sa v procese plazmového leptania rôznych integrovaných obvodov a tiež ako laserový plyn a chladivo. Je relatívne stabilný pri normálnej teplote a tlaku, ale je potrebné sa vyhnúť kontaktu so silnými oxidačnými činidlami, horľavými alebo zápalnými materiálmi. Tetrafluorid uhličitý je nehorľavý plyn. Ak sa stretne s vysokou teplotou, spôsobí zvýšenie vnútorného tlaku v nádobe a existuje nebezpečenstvo prasknutia a výbuchu. Zvyčajne môže interagovať s kvapalným amoniakom a kovovým činidlom sodíka iba pri izbovej teplote.

Tetrafluorid uhlíkaV súčasnosti je najpoužívanejším plazmovým leptacím plynom v mikroelektronickom priemysle. Môže sa široko používať pri leptaní kremíka, oxidu kremičitého, fosfokremičitého skla a iných tenkovrstvových materiálov, čistení povrchu elektronických zariadení, výrobe solárnych článkov, laserovej technológii, izolácii v plynnej fáze, nízkoteplotnom chladení, ako činidlá na detekciu únikov a čistiace prostriedky pri výrobe plošných spojov, čo má široké uplatnenie.