Tetrafluorid uhlíka (CF4)

Technické parametre

Tetrafluorid uhličitý je halogénovaný uhľovodík s chemickým vzorcom CF4. Môže sa považovať za halogénovaný uhľovodík, halogénovaný metán, perfluórovaný uhľovodík alebo za anorganickú zlúčeninu. Tetrafluorid uhličitý je bezfarebný plyn bez zápachu, nerozpustný vo vode, rozpustný v benzéne a chloroforme. Je stabilný pri normálnej teplote a tlaku, vyhýbajte sa silným oxidačným činidlám, horľavým alebo zápalným materiálom. Je to nehorľavý plyn, vnútorný tlak v nádobe sa pri vystavení vysokej teplote zvýši a existuje nebezpečenstvo prasknutia a výbuchu. Je chemicky stabilný a nehorľavý. Pri izbovej teplote môže fungovať iba kvapalné činidlo amoniak-sodík. Tetrafluorid uhličitý je plyn, ktorý spôsobuje skleníkový efekt. Je veľmi stabilný, môže dlho zostať v atmosfére a je veľmi silným skleníkovým plynom. Tetrafluorid uhličitý sa používa v procese plazmového leptania rôznych integrovaných obvodov. Používa sa aj ako laserový plyn a používa sa v nízkoteplotných chladivách, rozpúšťadlách, mazivách, izolačných materiáloch a chladiacich kvapalinách pre infračervené detektory. Je to najpoužívanejší plazmový leptací plyn v mikroelektronickom priemysle. Je to zmes vysoko čistého plynu tetrafluórmetánu a vysoko čistého plynu tetrafluórmetánu a vysoko čistého kyslíka. Môže sa široko používať v kremíku, oxide kremičitom, nitride kremičitom a fosforečnanovom skle. Leptanie tenkovrstvových materiálov, ako je volfrám a volfrám, sa tiež široko používa pri čistení povrchov elektronických zariadení, výrobe solárnych článkov, laserovej technológii, nízkoteplotnom chladení, kontrole únikov a ako čistiaci prostriedok pri výrobe plošných spojov. Používa sa ako nízkoteplotné chladivo a technológia suchého leptania plazmou pre integrované obvody. Bezpečnostné opatrenia pri skladovaní: Skladujte v chladnom a vetranom sklade s nehorľavým plynom. Uchovávajte mimo dosahu ohňa a zdrojov tepla. Skladovacia teplota by nemala presiahnuť 30 °C. Mal by sa skladovať oddelene od ľahko (horľavých) horľavín a oxidačných činidiel a vyhýbajte sa zmiešanému skladovaniu. Skladovací priestor by mal byť vybavený zariadením na núdzové ošetrenie únikov.

Aplikácia:

① Chladivo:

Tetrafluórmetán sa niekedy používa ako nízkoteplotné chladivo.

② Leptanie:

Používa sa v mikrofabrikácii elektroniky samostatne alebo v kombinácii s kyslíkom ako plazmové leptadlo pre kremík, oxid kremičitý a nitrid kremíka.

Normálny balík:

Výhoda:

①Vysoká čistota, najmodernejšie zariadenie;

②Výrobca s certifikátom ISO;

③Rýchle dodanie;

④Online analytický systém pre kontrolu kvality v každom kroku;

⑤Vysoké požiadavky a dôkladný postup pri manipulácii s valcom pred plnením;