Silaneje zlúčenina kremíka a vodíka a je všeobecným pojmom pre rad zlúčenín. Silán zahŕňa hlavne monosilán (SiH4), disilán (Si2H6) a niektoré zlúčeniny kremíka vodíka vyššej úrovne so všeobecným vzorcom SinH2n+2. V skutočnej výrobe však vo všeobecnosti označujeme monosilán (chemický vzorec SiH4) ako „silán“.

Elektronická kvalitasilánový plynsa získava hlavne rôznou reakčnou destiláciou a čistením práškového kremíka, vodíka, chloridu kremičitého, katalyzátora atď. Silán s čistotou 3N až 4N sa nazýva silán priemyselnej kvality a silán s čistotou vyššou ako 6N sa nazýva elektronický- kvalitný silánový plyn.

Ako zdroj plynu na prenášanie kremíkových komponentov,silánový plynsa stal dôležitým špeciálnym plynom, ktorý nemôže byť nahradený mnohými inými zdrojmi kremíka kvôli jeho vysokej čistote a schopnosti dosiahnuť jemnú kontrolu. Monosilán generuje kryštalický kremík pyrolýznou reakciou, ktorá je v súčasnosti jednou z metód veľkosériovej výroby granulovaného monokryštalického kremíka a polykryštalického kremíka vo svete.

Vlastnosti silánov

silan (SiH4)je bezfarebný plyn, ktorý reaguje so vzduchom a spôsobuje dusenie. Jeho synonymom je hydrid kremičitý. Chemický vzorec silanu je SiH4 a jeho obsah je až 99,99 %. Pri izbovej teplote a tlaku je silán zapáchajúci toxický plyn. Teplota topenia silanu je -185 ℃ a teplota varu je -112 ℃. Pri izbovej teplote je silán stabilný, ale pri zahriatí na 400 ℃ sa úplne rozloží na plynný kremík a vodík. Silán je horľavý a výbušný a vo vzduchu alebo halogénovom plyne bude horieť výbušne.

Polia aplikácie

Silan má široké využitie. Okrem toho, že ide o najefektívnejší spôsob pripojenia molekúl kremíka k povrchu článku počas výroby solárnych článkov, je tiež široko používaný vo výrobných závodoch, ako sú polovodiče, ploché panely a potiahnuté sklo.

Silaneje zdrojom kremíka pre procesy chemického nanášania pár, ako je monokryštálový kremík, polykryštalické kremíkové epitaxné doštičky, oxid kremičitý, nitrid kremíka a fosfosilikátové sklo v polovodičovom priemysle a je široko používaný pri výrobe a vývoji solárnych článkov, kremíkových kopírovacích bubnov , fotoelektrické senzory, optické vlákna a špeciálne sklo.

V posledných rokoch sa stále objavujú high-tech aplikácie silánov, vrátane výroby pokročilej keramiky, kompozitných materiálov, funkčných materiálov, biomateriálov, vysokoenergetických materiálov atď., ktoré sa stávajú základom mnohých nových technológií, nových materiálov a nových materiálov. zariadení.