Silánje zlúčenina kremíka a vodíka a je všeobecným termínom pre sériu zlúčenín. Silán zahŕňa najmä monosilán (SiH4), disilán (Si2H6) a niektoré zlúčeniny kremíka a vodíka s vyšším stupňom viazania so všeobecným vzorcom SinH2n+2. V skutočnej výrobe sa však monosilán (chemický vzorec SiH4) vo všeobecnosti označuje ako „silán“.

Elektronická úroveňsilánový plynZískava sa hlavne rôznymi reakčnými destiláciami a čistením kremíkového prášku, vodíka, tetrachloridu kremičitého, katalyzátorov atď. Silán s čistotou 3N až 4N sa nazýva silán priemyselnej kvality a silán s čistotou viac ako 6N sa nazýva silánový plyn elektronickej kvality.

Ako zdroj plynu na prepravu kremíkových komponentov,silánový plynsa stal dôležitým špeciálnym plynom, ktorý nemožno nahradiť mnohými inými zdrojmi kremíka kvôli jeho vysokej čistote a schopnosti dosiahnuť jemnú reguláciu. Monosilán vytvára kryštalický kremík pyrolýznou reakciou, ktorá je v súčasnosti jednou z metód pre veľkovýrobu granulovaného monokryštalického kremíka a polykryštalického kremíka na svete.

Vlastnosti silánu

Silán (SiH4)Je bezfarebný plyn, ktorý reaguje so vzduchom a spôsobuje udusenie. Jeho synonymom je hydrid kremíka. Chemický vzorec silánu je SiH4 a jeho obsah dosahuje až 99,99 %. Pri izbovej teplote a tlaku je silán zapáchajúci toxický plyn. Teplota topenia silánu je -185 ℃ a teplota varu je -112 ℃. Pri izbovej teplote je silán stabilný, ale pri zahriatí na 400 ℃ sa úplne rozloží na plynný kremík a vodík. Silán je horľavý a výbušný a na vzduchu alebo v halogénovom plyne explozívne horí.

Oblasti použitia

Silán má široké spektrum použitia. Okrem toho, že je najúčinnejším spôsobom pripojenia molekúl kremíka k povrchu článku počas výroby solárnych článkov, je tiež široko používaný vo výrobných závodoch, ako sú polovodiče, ploché displeje a potiahnuté sklo.

Silánje zdrojom kremíka pre procesy chemického nanášania z pár, ako je monokryštálový kremík, polykryštalické kremíkové epitaxné doštičky, oxid kremičitý, nitrid kremičitý a fosfokremičité sklo v polovodičovom priemysle a je široko používaný pri výrobe a vývoji solárnych článkov, kremíkových kopírovacích bubnov, fotoelektrických senzorov, optických vlákien a špeciálneho skla.

V posledných rokoch sa stále objavujú high-tech aplikácie silánov vrátane výroby pokročilej keramiky, kompozitných materiálov, funkčných materiálov, biomateriálov, vysokoenergetických materiálov atď., ktoré sa stávajú základom mnohých nových technológií, nových materiálov a nových zariadení.