Elektronickéšpeciálne plynysú dôležitým odvetvím špeciálnych plynov. Prenikajú takmer do každého článku výroby polovodičov a sú nepostrádateľnými surovinami pre výrobu elektronického priemyslu, ako sú ultra-veľké integrované obvody, ploché zobrazovacie zariadenia a solárne články.

V polovodičovej technológii sú plyny obsahujúce fluór široko používané. V súčasnosti na globálnom trhu s elektronickým plynom predstavujú elektronické plyny obsahujúce fluór asi 30 % z celkového množstva. Elektronické plyny obsahujúce fluór sú dôležitou zložkou špeciálnych elektronických plynov v oblasti elektronických informačných materiálov. Používajú sa hlavne ako čistiace a leptacie prostriedky a môžu sa použiť aj ako dopanty, filmotvorné materiály atď. V tomto článku vás autor prevedie k pochopeniu bežných plynov obsahujúcich fluór.

Nasledujú bežne používané plyny obsahujúce fluór

Fluorid dusnatý (NF3): Plyn používaný na čistenie a odstraňovanie usadenín, zvyčajne používaný na čistenie reakčných komôr a povrchov zariadení.

Hexafluorid sírový (SF6): Fluoračné činidlo používané pri procesoch vylučovania oxidov a ako izolačný plyn na plnenie izolačných médií.

Fluorovodík (HF): Používa sa na odstránenie oxidov z povrchu kremíka a ako leptadlo na leptanie kremíka a iných materiálov.

Fluorid dusnatý (NF): Používa sa na leptanie materiálov, ako je nitrid kremíka (SiN) a nitrid hliníka (AlN).

trifluórmetán (CHF3) atetrafluórmetán (CF4): Používa sa na leptanie fluoridových materiálov, ako je fluorid kremičitý a fluorid hlinitý.

Plyny obsahujúce fluór však majú určité nebezpečenstvá vrátane toxicity, žieraviny a horľavosti.

Toxicita

Niektoré plyny obsahujúce fluór sú toxické, ako napríklad fluorovodík (HF), ktorého výpary veľmi dráždia pokožku a dýchacie cesty a sú škodlivé pre ľudské zdravie.

Korozívnosť

Fluorovodík a niektoré fluoridy sú vysoko žieravé a môžu spôsobiť vážne poškodenie kože, očí a dýchacích ciest.

Horľavosť

Niektoré fluoridy sú horľavé a reagujú s kyslíkom alebo vodou vo vzduchu za uvoľnenia intenzívneho tepla a toxických plynov, ktoré môžu spôsobiť požiar alebo výbuch.

Nebezpečenstvo vysokého tlaku

Niektoré fluórované plyny sú pod vysokým tlakom výbušné a pri používaní a skladovaní vyžadujú osobitnú starostlivosť.

Vplyv na životné prostredie

Plyny obsahujúce fluór majú vysokú životnosť v atmosfére a hodnoty GWP, ktoré majú deštruktívny účinok na ozónovú vrstvu atmosféry a môžu spôsobiť globálne otepľovanie a znečistenie životného prostredia.

Aplikácia plynov v rozvíjajúcich sa oblastiach, ako je elektronika, sa neustále prehlbuje, čo prináša veľké množstvo nového dopytu po priemyselných plynoch. Na základe veľkého množstva nových výrobných kapacít hlavných elektronických komponentov, ako sú polovodiče a zobrazovacie panely v pevninskej Číne v najbližších niekoľkých rokoch, ako aj silného dopytu po nahradení elektronických chemických materiálov dovozom, domáci elektronický plynárenský priemysel predstaví vysoká miera rastu.