Elektronickéšpeciálne plynysú dôležitým odvetvím špeciálnych plynov. Prenikajú takmer do každého článku výroby polovodičov a sú nevyhnutnou surovinou pre výrobu v elektronickom priemysle, ako sú ultraveľké integrované obvody, ploché displeje a solárne články.

V polovodičovej technológii sa plyny obsahujúce fluór široko používajú. V súčasnosti tvoria elektronické plyny obsahujúce fluór na globálnom trhu s elektronickými plynmi približne 30 % z celkového množstva. Elektronické plyny obsahujúce fluór sú dôležitou súčasťou špeciálnych elektronických plynov v oblasti elektronických informačných materiálov. Používajú sa hlavne ako čistiace prostriedky a leptacie činidlá a môžu sa použiť aj ako dopanty, filmotvorné materiály atď. V tomto článku vás autor oboznámi s bežnými plynmi obsahujúcimi fluór.

Nasledujúce plyny obsahujúce fluór sa bežne používajú

Fluorid dusitý (NF3): Plyn používaný na čistenie a odstraňovanie usadenín, zvyčajne na čistenie reakčných komôr a povrchov zariadení.

Fluorid sírový (SF6)Fluóračné činidlo používané v procesoch nanášania oxidov a ako izolačný plyn na plnenie izolačných médií.

Fluorovodík (HF): Používa sa na odstraňovanie oxidov z povrchu kremíka a ako leptadlo na leptanie kremíka a iných materiálov.

Fluorid dusnatý (NF): Používa sa na leptanie materiálov, ako je nitrid kremíka (SiN) a nitrid hliníka (AlN).

Trifluórmetán (CHF3) atetrafluórmetán (CF4)Používa sa na leptanie fluoridových materiálov, ako je fluorid kremičitý a fluorid hlinitý.

Plyny obsahujúce fluór však predstavujú určité nebezpečenstvá vrátane toxicity, korozívnosti a horľavosti.

Toxicita

Niektoré plyny obsahujúce fluór sú toxické, napríklad fluorovodík (HF), ktorého pary silne dráždia pokožku a dýchacie cesty a sú škodlivé pre ľudské zdravie.

Korozívnosť

Fluorovodík a niektoré fluoridy sú vysoko korozívne a môžu spôsobiť vážne poškodenie pokožky, očí a dýchacích ciest.

Horľavosť

Niektoré fluoridy sú horľavé a reagujú s kyslíkom alebo vodou vo vzduchu, pričom uvoľňujú intenzívne teplo a toxické plyny, ktoré môžu spôsobiť požiar alebo výbuch.

Nebezpečenstvo vysokého tlaku

Niektoré fluórované plyny sú pri vysokom tlaku výbušné a pri používaní a skladovaní si vyžadujú osobitnú opatrnosť.

Vplyv na životné prostredie

Plyny obsahujúce fluór majú vysokú životnosť v atmosfére a hodnoty GWP, čo má deštruktívny vplyv na ozónovú vrstvu atmosféry a môže spôsobiť globálne otepľovanie a znečistenie životného prostredia.

Aplikácia plynov v rozvíjajúcich sa oblastiach, ako je elektronika, sa neustále prehlbuje, čo prináša veľký nový dopyt po priemyselných plynoch. Vzhľadom na veľkú novú výrobnú kapacitu hlavných elektronických súčiastok, ako sú polovodiče a zobrazovacie panely, v pevninskej Číne v najbližších rokoch, ako aj na silný dopyt po substitúcii dovozu elektronických chemických materiálov, domáci priemysel elektronických plynov zaznamená vysokú mieru rastu.