Elektronickýšpeciálne plynysú dôležitou pobočkou špeciálnych plynov. Prenikajú takmer do všetkých spojení výroby polovodičov a sú nevyhnutnými surovinami na výrobu elektronických priemyselných odvetví, ako sú integrované obvody s ultra-large, zariadenia na zobrazenie plochých panelov a solárne články.

V polovodičovej technológii sa široko používajú plyny obsahujúce fluór. V súčasnosti na globálnom trhu s elektronickým plynom tvoria elektronické plyny obsahujúce fluór asi 30% z celkového počtu. Elektronické plyny obsahujúce fluór sú dôležitou súčasťou špeciálnych elektronických plynov v oblasti elektronických informačných materiálov. Používajú sa hlavne ako čistiace prostriedky a leptacie činidlá a môžu sa tiež používať ako dopanty, materiály tvoriace filmy atď. V tomto článku autor vás zavedie, aby ste pochopili bežné plyny obsahujúce fluór.

Nasledujúce sa bežne používajú plyny obsahujúce fluór

Trifluorid dusíka (NF3): plyn používaný na čistenie a odstraňovanie usadenín, zvyčajne používaný na čistenie reakčných komôr a povrchy zariadení.

Sulfur hexafluorid (SF6): Fluóračné činidlo používané v procesoch depozície oxidov a ako izolačný plyn na vyplnenie izolačného média.

Fluorid vodíka (HF): Používa sa na odstránenie oxidov z povrchu kremíka a ako lept na leptanie kremíka a iných materiálov.

Fluorid dusíka (NF): Používa sa na leptanie materiálov, ako je nitrid kremíka (Sin) a nitrid hlinitý (ALN).

Trifluórmetán (CHF3) atetrafluórmetán (CF4): Používa sa na leptanie fluoridových materiálov, ako je kremík fluorid a hliníkový fluorid.

Plyny obsahujúce fluór však majú určité nebezpečenstvá vrátane toxicity, korozivity a horľavosti.

Toxicita

Niektoré plyny obsahujúce fluór sú toxické, ako je napríklad fluorid vodíka (HF), ktorého para veľmi dráždi pokožku a dýchací trakt a škodlivé pre ľudské zdravie.

Korozitívnosť

Fluorid vodíka a niektoré fluoridy sú vysoko korozívne a môžu spôsobiť vážne poškodenie pokožky, očí a dýchacích ciest.

Horlosť

Niektoré fluoridy sú horľavé a reagujú s kyslíkom alebo vodou vo vzduchu, aby uvoľňovali intenzívne teplo a toxické plyny, ktoré môžu spôsobiť požiar alebo výbuch.

Nebezpečenstvo

Niektoré fluórované plyny sú výbušné pod vysokým tlakom a pri používaní a skladovaní vyžadujú osobitnú starostlivosť.

Vplyv na životné prostredie

Plyny obsahujúce fluór majú vysokú atmosférickú životnosť a hodnoty GWP, ktoré majú deštruktívny vplyv na atmosférickú ozónovú vrstvu a môžu spôsobiť globálne otepľovanie a znečistenie životného prostredia.

Aplikácia plynov v rozvíjajúcich sa oblastiach, ako je Electronics, sa naďalej prehlbuje, čo prináša veľké množstvo nového dopytu po priemyselných plynoch. Na základe veľkého množstva novej výrobnej kapacity hlavných elektronických komponentov, ako sú polovodiče a zobrazovacie panely v pevninskej Číne v nasledujúcich niekoľkých rokoch, ako aj silné dopyt po dovoznej substitúcii elektronických chemických materiálov, bude domáci elektronický plynový priemysel ohlasovať vysokú mieru rastu.