Úloha fluoridu sírového pri leptaní nitridom kremíka

Hexafluorid sírový je plyn s výbornými izolačnými vlastnosťami a často sa používa na zhášanie vysokonapäťových oblúkov a transformátorov, vysokonapäťových prenosových vedení, transformátorov a pod. Okrem týchto funkcií však možno fluorid sírový použiť aj ako elektronické leptadlo .Vysoko čistý fluorid sírový v elektronickej kvalite je ideálne elektronické leptadlo, ktoré je široko používané v oblasti mikroelektronických technológií.Dnes redaktor špeciálneho plynu Niu Ruide Yueyue predstaví aplikáciu fluoridu sírového pri leptaní nitridom kremíka a vplyv rôznych parametrov.

Diskutujeme o procese SiNx plazmového leptania SF6, vrátane zmeny výkonu plazmy, pomeru plynu SF6/He a pridania katiónového plynu O2, diskutujeme o jeho vplyve na rýchlosť leptania ochrannej vrstvy SiNx prvku TFT a využívaní plazmového žiarenia. spektrometer analyzuje zmeny koncentrácie každého druhu v plazme SF6/He, SF6/He/O2 a rýchlosť disociácie SF6 a skúma vzťah medzi zmenou rýchlosti leptania SiNx a koncentráciou druhov v plazme.

Štúdie zistili, že keď sa zvýši výkon plazmy, zvýši sa rýchlosť leptania;ak sa prietok SF6 v plazme zvýši, koncentrácia F atómu sa zvýši a pozitívne koreluje s rýchlosťou leptania.Okrem toho, po pridaní katiónového plynu O2 pod pevný celkový prietok to bude mať vplyv na zvýšenie rýchlosti leptania, ale pri rôznych pomeroch prietoku O2/SF6 budú existovať rôzne reakčné mechanizmy, ktoré možno rozdeliť do troch častí : (1) Prietokový pomer O2/SF6 je veľmi malý, O2 môže napomôcť disociácii SF6 a rýchlosť leptania je v tomto čase väčšia, ako keď sa nepridáva O2.(2) Keď je pomer prietoku O2/SF6 väčší ako 0,2 k intervalu blížiacemu sa k 1, v tomto čase je rýchlosť leptania v dôsledku veľkého množstva disociácie SF6 za vzniku atómov F najvyššia;ale zároveň sa zväčšujú aj atómy O v plazme a s povrchom filmu SiNx je ľahké vytvoriť SiOx alebo SiNxO(yx) a čím viac atómov O pribúda, tým ťažšie budú atómy F pre leptacia reakcia.Preto sa rýchlosť leptania začína spomaľovať, keď je pomer O2/SF6 blízko 1. (3) Keď je pomer O2/SF6 väčší ako 1, rýchlosť leptania klesá.V dôsledku veľkého nárastu O2 sa disociované atómy F zrážajú s O2 a vytvárajú OF, čo znižuje koncentráciu atómov F, čo vedie k zníženiu rýchlosti leptania.Z toho je zrejmé, že keď sa pridá O2, prietokový pomer O2/SF6 je medzi 0,2 a 0,8 a možno dosiahnuť najlepšiu rýchlosť leptania.