Hexafluorid sulfur je plyn s vynikajúcimi izolačnými vlastnosťami a často sa používa vo vysokonapäťovom hasení oblúka a transformátorom, vysokovýkonným prenosovým vedeniam, transformátorom atď. Avšak okrem týchto funkcií sa môže tiež použiť hexafluorid sulfur hexafluorid. Elektronický vysokokvalitný hexafluorid s vysokou úrovňou síry je ideálny elektronický lept, ktorý sa široko používa v oblasti mikroelektroniky. Dnes NIU Ruide Special Gas Editor Yueyue predstaví aplikáciu hexafluoridu sulfur v leptaní nitridu kremíka a vplyvu rôznych parametrov.
Diskutujeme o procese leptania SINX v plazme SF6, vrátane zmeny plazmatickej sily, pomeru plynu SF6/He a pridaním katiónového plynu O2, diskutuje o jeho vplyve na rýchlosť leptania na ochranu prvkov SINX a pomocou spektrometového žiarenia PLASMA A Analyzuje koncentráciu koncentrácie a disociu SF6/HE, SF6/HE/O2 ALF6 Vzťah medzi zmenou rýchlosti leptania Sinx a koncentráciou druhov plazmy.
Štúdie zistili, že keď sa zvýši výkon plazmy, zvýši sa rýchlosť leptania; Ak sa zvýši prietok SF6 v plazme, koncentrácia atómov F sa zvyšuje a pozitívne koreluje s rýchlosťou leptania. Okrem toho, po pridaní katiónového plynu O2 v rámci fixného celkového prietoku bude mať za následok zvýšenie rýchlosti leptania, ale pri rôznych pomeroch prietoku O2/SF6 bude existovať rôzne reakčné mechanizmy, ktoré môžu byť rozdelené do troch častí: (1 1) pomer O2/SF6 môže pomôcť veľmi malý O2. (2) Ak je pomer prietoku O2/SF6 väčší ako 0,2 do intervalu, ktorý sa blíži 1, v tomto okamihu, v dôsledku veľkého množstva disociácie SF6 za vzniku atómov, rýchlosť leptania je najvyššia; Zároveň sa však zvyšujú aj atómy O v plazme a je ľahké tvoriť SIOX alebo Sinxo (YX) s povrchom filmu SINX a čím viac sa zvyšuje atómy O, tým ťažšie budú atómy F pre leptanú reakciu. Preto sa rýchlosť leptania začína spomaľovať, keď je pomer O2/SF6 blízko 1 (3), keď je pomer O2/SF6 väčší ako 1, rýchlosť leptania klesá. V dôsledku veľkého zvýšenia O2 sa disociované atómy F zrážajú s O2 a formou, čo znižuje koncentráciu atómov F, čo vedie k zníženiu rýchlosti leptania. Z toho je zrejmé, že keď sa pridá O2, pomer prietoku O2/SF6 je medzi 0,2 a 0,8 a je možné získať najlepšiu rýchlosť leptania.
Čas príspevku: december 06-2021
