Medzi bežné špeciálne elektronické plyny obsahujúce fluór patriafluorid sírový (SF6), hexafluorid volfrámový (WF6),tetrafluorid uhlíka (CF4), trifluórmetán (CHF3), fluorid dusičitý (NF3), hexafluóretán (C2F6) a oktafluórpropán (C3F8).
S rozvojom nanotechnológií a rozsiahlym rozvojom elektronického priemyslu sa dopyt po ňom bude deň čo deň zvyšovať. Trifluorid dusitý, ako nevyhnutný a najpoužívanejší špeciálny elektronický plyn pri výrobe a spracovaní panelov a polovodičov, má široký trhový priestor.
Ako typ špeciálneho plynu obsahujúceho fluór,fluorid dusičitý (NF3)je špeciálny plyn pre elektroniku s najväčšou trhovou kapacitou. Je chemicky inertný pri izbovej teplote, aktívnejší ako kyslík pri vysokej teplote, stabilnejší ako fluór a ľahko sa s ním manipuluje. Trifluorid dusitý sa používa hlavne ako plazmový leptací plyn a čistiaci prostriedok do reakčných komôr a je vhodný na výrobu polovodičových čipov, plochých displejov, optických vlákien, fotovoltaických článkov atď.
V porovnaní s inými elektronickými plynmi obsahujúcimi fluór,fluorid dusičitýMá výhody rýchlej reakcie a vysokej účinnosti. Najmä pri leptaní materiálov obsahujúcich kremík, ako je nitrid kremíka, má vysokú rýchlosť leptania a selektivitu, pričom na povrchu leptaného predmetu nezanecháva žiadne zvyšky. Je tiež veľmi dobrým čistiacim prostriedkom a neznečisťuje povrch, čo môže spĺňať potreby procesu spracovania.
Čas uverejnenia: 14. septembra 2024
