Bežné špeciálne elektronické plyny obsahujúce fluór zahŕňajúfluorid sírový (SF6), hexafluorid volfrámový (WF6),fluorid uhličitý (CF4)trifluórmetán (CHF3), fluorid dusitý (NF3), hexafluóretán (C2F6) a oktafluórpropán (C3F8).
S rozvojom nanotechnológií a rozsiahlym rozvojom elektronického priemyslu sa jeho dopyt bude každým dňom zvyšovať. Fluorid dusnatý, ako nepostrádateľný a najviac používaný špeciálny elektronický plyn pri výrobe a spracovaní panelov a polovodičov, má široký trhový priestor.
Ako druh špeciálneho plynu obsahujúceho fluór,fluorid dusitý (NF3)je elektronický špeciálny plynový produkt s najväčšou trhovou kapacitou. Je chemicky inertný pri izbovej teplote, aktívnejší ako kyslík pri vysokej teplote, stabilnejší ako fluór a ľahko sa s ním manipuluje. Fluorid dusnatý sa používa hlavne ako plazmový leptací plyn a prostriedok na čistenie reakčných komôr a je vhodný na výrobu polovodičových čipov, plochých panelových displejov, optických vlákien, fotovoltaických článkov atď.
V porovnaní s inými elektronickými plynmi obsahujúcimi fluór,fluorid dusitýmá výhody rýchlej reakcie a vysokej účinnosti. Najmä pri leptaní materiálov obsahujúcich kremík, ako je nitrid kremíka, má vysokú rýchlosť leptania a selektivitu, pričom nezanecháva žiadne zvyšky na povrchu leptaného predmetu. Je to tiež veľmi dobrý čistiaci prostriedok a nemá žiadne znečistenie na povrchu, čo môže spĺňať potreby procesu spracovania.
Čas odoslania: 14. september 2024
