Najväčšie množstvo elektronického špeciálneho plynu – fluorid dusičitý NF3

Polovodičový priemysel a priemysel s panelmi v našej krajine si udržiavajú vysokú úroveň prosperity. Fluorid dusitý ako nevyhnutný a najobjemovejší špeciálny elektronický plyn pri výrobe a spracovaní panelov a polovodičov má široký trhový priestor.

Medzi bežne používané špeciálne elektronické plyny obsahujúce fluór patriafluorid sírový (SF6), hexafluorid volfrámový (WF6),tetrafluorid uhlíka (CF4), trifluórmetán (CHF3), fluorid dusičitý (NF3), hexafluóretán (C2F6) a oktafluórpropán (C3F8). Fluorid dusičitý (NF3) sa používa hlavne ako zdroj fluóru pre vysokoenergetické chemické lasery s plynným fluorovodíkom a fluoridom. Účinná časť (približne 25 %) reakčnej energie medzi H2-O2 a F2 sa môže uvoľniť laserovým žiarením, takže HF-OF lasery sú najsľubnejšími lasermi spomedzi chemických laserov.

Fluorid dusitý je vynikajúci plyn na plazmové leptanie v mikroelektronickom priemysle. Pri leptaní kremíka a nitridu kremíka má trifluorid dusitý vyššiu rýchlosť leptania a selektivitu ako tetrafluorid uhlíka a zmes tetrafluoridu uhlíka a kyslíka a neznečisťuje povrch. Najmä pri leptaní materiálov integrovaných obvodov s hrúbkou menšou ako 1,5 μm má trifluorid dusitý veľmi vynikajúcu rýchlosť leptania a selektivitu, nezanecháva žiadne zvyšky na povrchu leptaného predmetu a je tiež veľmi dobrým čistiacim prostriedkom. S rozvojom nanotechnológií a rozsiahlym rozvojom elektronického priemyslu sa jeho dopyt bude deň čo deň zvyšovať.

Ako typ špeciálneho plynu obsahujúceho fluór je fluorid dusitý (NF3) najrozšírenejším produktom špeciálneho plynu pre elektroniku na trhu. Je chemicky inertný pri izbovej teplote, aktívnejší ako kyslík, stabilnejší ako fluór a ľahko sa s ním manipuluje pri vysokých teplotách.

Trifluorid dusitý sa používa hlavne ako plazmový leptací plyn a čistiaci prostriedok do reakčných komôr, vhodný pre výrobné oblasti, ako sú polovodičové čipy, ploché displeje, optické vlákna, fotovoltaické články atď.

V porovnaní s inými elektronickými plynmi obsahujúcimi fluór má trifluorid dusičitý výhody rýchlej reakcie a vysokej účinnosti, najmä pri leptaní materiálov obsahujúcich kremík, ako je nitrid kremíka. Má vysokú rýchlosť leptania a selektivitu, nezanecháva žiadne zvyšky na povrchu leptaného predmetu a je tiež veľmi dobrým čistiacim prostriedkom, neznečisťuje povrch a dokáže uspokojiť potreby spracovateľského procesu.