Hexafluorid volfrámový (WF6) sa nanáša na povrch plátku pomocou procesu CVD, čím sa vypĺňajú kovové spojovacie ryhy a vytvára sa kovové prepojenie medzi vrstvami.
Najprv si povieme niečo o plazme. Plazma je forma hmoty pozostávajúca hlavne z voľných elektrónov a nabitých iónov. Vo vesmíre sa vyskytuje široko a často sa považuje za štvrtý stav hmoty. Nazýva sa to plazmatický stav, nazývaný aj „plazma“. Plazma má vysokú elektrickú vodivosť a má silný väzbový efekt s elektromagnetickým poľom. Je to čiastočne ionizovaný plyn zložený z elektrónov, iónov, voľných radikálov, neutrálnych častíc a fotónov. Samotná plazma je elektricky neutrálna zmes obsahujúca fyzikálne a chemicky aktívne častice.
Priame vysvetlenie je, že pri pôsobení vysokej energie molekula prekoná van der Waalsovu silu, silu chemickej väzby a Coulombovu silu a predstavuje formu neutrálnej elektriny ako celku. Zároveň vysoká energia dodávaná zvonku prekonáva vyššie uvedené tri sily. Funkcia, elektróny a ióny predstavujú voľný stav, ktorý možno umelo využiť pri modulácii magnetického poľa, ako je proces leptania polovodičov, proces CVD, proces PVD a IMP.
Čo je to vysoká energia? Teoreticky možno použiť vysokoteplotné aj vysokofrekvenčné RF. Vo všeobecnosti je takmer nemožné dosiahnuť vysokú teplotu. Táto požiadavka na teplotu je príliš vysoká a môže byť blízka teplote slnka. V tomto procese je v podstate nemožné dosiahnuť. Preto priemysel zvyčajne používa vysokofrekvenčné RF na jeho dosiahnutie. Plazmové RF môže dosiahnuť až 13 MHz+.
Hexafluorid volfrámu sa plazmuje pôsobením elektrického poľa a potom sa naparuje magnetickým poľom. Atómy W sú podobné zimným husím perám a pôsobením gravitácie padajú na zem. Pomaly sa do priechodných otvorov ukladajú atómy W a nakoniec sa plnia plné priechodné otvory, aby sa vytvorili kovové prepojenia. Budú sa okrem ukladania atómov W do priechodných otvorov ukladať aj na povrch doštičky? Áno, určite. Vo všeobecnosti môžete na odstránenie použiť proces W-CMP, ktorý nazývame procesom mechanického brúsenia. Je to podobné ako používať metlu na zametanie podlahy po hustom snehu. Sneh na zemi je odhrnutý, ale sneh v diere na zemi zostane. Dole, približne rovnako.
Čas odoslania: 24. decembra 2021
