Tungsten hexafluorid (WF6) sa ukladá na povrchu oblátky prostredníctvom procesu CVD, vyplňuje kovové prepojené zákopy a vytvárajú prepojenie kovov medzi vrstvami.
Najprv si povedzme o plazme. Plazma je forma hmoty, ktorá sa skladá hlavne z voľných elektrónov a nabitých iónov. Vo vesmíre existuje široko a často sa považuje za štvrtý stav hmoty. Nazýva sa to plazmový stav, tiež nazývaný „plazma“. Plazma má vysokú elektrickú vodivosť a má silný spojovací účinok s elektromagnetickým poľom. Je to čiastočne ionizovaný plyn, ktorý sa skladá z elektrónov, iónov, voľných radikálov, neutrálnych častíc a fotónov. Samotná plazma je elektricky neutrálna zmes obsahujúca fyzicky a chemicky aktívne častice.
Priame vysvetlenie je, že pri účinku vysokej energie molekula prekoná silu van der Waals, silu chemickej väzby a coulombovu silu a predstavuje formu neutrálnej elektriny ako celku. Súčasne vysoká energia poskytovaná vonkajšou časťou prekonáva vyššie uvedené tri sily. Funkcia, elektróny a ióny predstavujú voľný štát, ktorý sa môže umelo použiť pri modulácii magnetického poľa, ako je proces leptania polovodičov, proces CVD, PVD a proces IMP.
Čo je vysoká energia? Teoreticky je možné použiť vysokú teplotu aj vysokofrekvenčné RF. Všeobecne povedané, vysoká teplota je takmer nemožná dosiahnuť. Táto požiadavka na teplotu je príliš vysoká a môže byť blízko slnečnej teploty. V tomto procese je v podstate nemožné dosiahnuť. Preto priemysel zvyčajne používa vysokofrekvenčné RF na jeho dosiahnutie. Plazma RF môže dosiahnuť až 13 MHz+.
Hexafluorid volfrámu je plazmaizovaný pod pôsobením elektrického poľa a potom sa pary ukladá magnetickým poľom. Atómy W sú podobné zimnému husaciemu periu a padajú na zem pod konaním gravitácie. Atómy W sa pomaly ukladajú do otvorov a nakoniec sa naplnia otvormi, aby sa vytvorili kovové prepojenia. Okrem ukladania atómov W v priechodných otvoroch sa budú ukladať aj na povrch oblátky? Áno, určite. Všeobecne povedané, môžete použiť proces W-CMP, ktorý na odstránenie nazývame proces mechanického mletia. Je to podobné ako pri použití metly na zametanie podlahy po silnom snehu. Sneh na zemi je zametaný, ale sneh v diere na zemi zostane. Dole, zhruba to isté.
Čas príspevku: december 24-2021
