Fluorid volfrámu (WF6) sa nanáša na povrch doštičky pomocou procesu CVD, čím vypĺňa kovové prepojovacie priehlbiny a vytvára kovové prepojenie medzi vrstvami.
Najprv si povedzme niečo o plazme. Plazma je forma hmoty zložená prevažne z voľných elektrónov a nabitých iónov. Existuje vo vesmíre široko rozšírená a často sa považuje za štvrtý skupenstvo hmoty. Nazýva sa plazmatický stav, tiež nazývaný „plazma“. Plazma má vysokú elektrickú vodivosť a silný väzbový efekt s elektromagnetickým poľom. Je to čiastočne ionizovaný plyn zložený z elektrónov, iónov, voľných radikálov, neutrálnych častíc a fotónov. Samotná plazma je elektricky neutrálna zmes obsahujúca fyzikálne a chemicky aktívne častice.
Jednoduché vysvetlenie je, že pod pôsobením vysokej energie molekula prekoná van der Waalsovu silu, chemickú väzbovú silu a Coulombovu silu a ako celok vykazuje formu neutrálnej elektriny. Zároveň vysoká energia dodávaná zvonku prekonáva vyššie uvedené tri sily. Funkcia spočíva v tom, že elektróny a ióny sa nachádzajú vo voľnom stave, ktorý možno umelo využiť pri modulácii magnetického poľa, ako je napríklad leptanie polovodičov, CVD proces, PVD a IMP proces.
Čo je to vysoká energia? Teoreticky je možné použiť vysokofrekvenčné aj vysokoteplotné rádiofrekvenčné žiarenie. Vo všeobecnosti je dosiahnutie vysokej teploty takmer nemožné. Táto teplotná požiadavka je príliš vysoká a môže sa blížiť teplote slnka. V podstate je to nemožné dosiahnuť týmto procesom. Preto priemysel na jej dosiahnutie zvyčajne používa vysokofrekvenčné rádiofrekvenčné žiarenie. Plazmové rádiofrekvenčné žiarenie môže dosiahnuť až 13 MHz+.
Hexafluorid volfrámu sa plazmizuje pôsobením elektrického poľa a potom sa naparuje magnetickým poľom. Atómy W sú podobné zimným husacím perám a padajú na zem pôsobením gravitácie. Atómy W sa pomaly ukladajú do priechodných otvorov a nakoniec sa zaplnia celými priechodnými otvormi, čím vytvárajú kovové prepojenia. Okrem ukladania atómov W v priechodných otvoroch sa ukladajú aj na povrch doštičky? Áno, určite. Vo všeobecnosti môžete na odstránenie použiť proces W-CMP, čo nazývame proces mechanického brúsenia. Je to podobné ako použitie metly na zametanie podlahy po hustom snehu. Sneh na zemi sa zametá, ale sneh v otvore na zemi zostane. Dole, zhruba rovnako.
Čas uverejnenia: 24. decembra 2021
