V roku 2018 dosiahol globálny trh s elektronickým plynom pre integrované obvody 4,512 miliárd USD, čo predstavuje medziročný nárast o 16%. Vysoká miera rastu elektronického špeciálneho plynu pre polovodiče a obrovská veľkosť trhu urýchlila plán domácej substitúcie elektronického špeciálneho plynu!
Čo je elektrónový plyn?
Elektronický plyn sa vzťahuje na základný zdrojový materiál používaný pri výrobe polovodičov, displeje plochých panelov, diód emitujúce svetlo, solárne články a ďalšie elektronické výrobky a široko sa používa pri čistení, leptaní, tvorbe filmu, dopingu a iných procesoch. Medzi hlavné oblasti aplikácií elektronického plynu patrí elektronický priemysel, solárne články, mobilná komunikácia, navigačné a autá audio a video systémy, letecký priemysel, vojenský priemysel a mnoho ďalších oblastí.
Elektronický špeciálny plyn je možné rozdeliť do siedmich kategórií podľa vlastného chemického zloženia: kremík, arzén, fosfor, bór, hydrid kov, halogenid a kovový alkoxid. Podľa rôznych aplikačných metód v integrovaných obvodoch sa dá rozdeliť na dopingový plyn, plyn epitaxie, iónový implantačný plyn, diódový plyn emit, leptaný plyn, leptaný plyn, plynný plyn chemického pary a rovnováhu. V polovodičovom priemysle sa používa viac ako 110 jednotiek špeciálnych plynov, z ktorých viac ako 30 sa bežne používa.
Všeobecne platí, že priemysel výroby polovodičov rozdeľuje plyny na dva typy: bežné plyny a špeciálne plyny. Medzi nimi sa bežne používaný plyn vzťahuje na centralizovanú dodávku a používa veľa plynu, ako napríklad N2, H2, O2, AR, HE atď. Špeciálny plyn sa týka niektorých chemických plynov používaných v procese výroby polovodičov, ako je napríklad predĺženie iónov, PH3, ASP3, B2H6, N2, N2-N2 NH3, SF6, NF3, CF4, BCL3, BF3, HCI, CL2, atď.
V celom výrobnom procese polovodičového priemyslu, od rastu ChIP po konečné balenia zariadení je takmer každé spojenie neoddeliteľné od elektronického špeciálneho plynu a rozmanitosti plynových a vysokých požiadaviek na kvalitu, takže elektronický plyn má polovodičové materiály. „Jedlo“.
V posledných rokoch sa v novej výrobnej kapacite zvýšili hlavné elektronické komponenty Číny, ako sú polovodiče a zobrazovacie panely, a existuje silný dopyt po nahradení dovozu elektronických chemických materiálov. Poloha elektronických plynov v polovodičovom priemysle sa stáva čoraz výraznejšou. Domáci elektronický plynový priemysel zavádza rýchly rast.
Elektronický špeciálny plyn má veľmi vysoké požiadavky na čistotu, pretože ak čistota nie je v súlade s požiadavkami, skupiny nečistoty, ako je vodná para a kyslík v elektronickom špeciálnom plyne, ľahko vytvorí oxidový film na povrchu polovodiča, ktorý ovplyvňuje životnosť služobných zariadení elektronických zariadení, a elektronický špeciálny plyn obsahuje obočie s nečistotami, ktoré môžu spôsobiť krátke obvody a poškodenie okruhu. Dá sa povedať, že zlepšenie čistoty zohráva dôležitú úlohu pri výnose a výkone výroby elektronických zariadení.
S nepretržitým vývojom polovodičového priemyslu sa proces výroby čipov naďalej zlepšuje a teraz dosiahol 5nm, čo sa chystá priblížiť k limitu Mooreovho zákona, ktorý je ekvivalentný jednej dvadsiatemu priemeru ľudských vlasov (asi 0,1 mm). Preto to tiež prináša vyššie požiadavky na čistotu elektronického špeciálneho plynu produkovaného polovodičmi.
Čas príspevku: december 15-2021
