V roku 2018 dosiahol globálny trh s elektronickým plynom pre integrované obvody 4,512 miliardy USD, čo predstavuje medziročný nárast o 16 %. Vysoká miera rastu elektronického špeciálneho plynárenského priemyslu pre polovodiče a obrovská veľkosť trhu urýchlili domáci plán substitúcie elektronického špeciálneho plynu!
Čo je elektrónový plyn?
Elektronický plyn sa vzťahuje na základný zdrojový materiál používaný pri výrobe polovodičov, plochých panelových displejov, diód vyžarujúcich svetlo, solárnych článkov a iných elektronických produktov a je široko používaný pri čistení, leptaní, tvorbe filmu, dopingu a iných procesoch. Medzi hlavné oblasti použitia elektronického plynu patrí elektronický priemysel, solárne články, mobilná komunikácia, automobilová navigácia a automobilové audio a video systémy, letecký a kozmický priemysel, vojenský priemysel a mnohé ďalšie oblasti.
Elektronický špeciálny plyn možno rozdeliť do siedmich kategórií podľa vlastného chemického zloženia: kremík, arzén, fosfor, bór, hydrid kovu, halogenid a alkoxid kovu. Podľa rôznych aplikačných metód v integrovaných obvodoch sa dá rozdeliť na dopingový plyn, epitaxný plyn, iónový implantačný plyn, diódový plyn vyžarujúci svetlo, leptací plyn, plyn z chemického nanášania pár a bilančný plyn. V polovodičovom priemysle sa používa viac ako 110 jednotiek špeciálnych plynov, z ktorých viac ako 30 sa bežne používa.
Vo všeobecnosti priemysel výroby polovodičov rozdeľuje plyny na dva typy: bežné plyny a špeciálne plyny. Medzi nimi sa bežne používaný plyn vzťahuje na centralizované zásobovanie a využíva veľa plynu, ako je N2, H2, O2, Ar, He atď. Špeciálny plyn označuje niektoré chemické plyny používané v procese výroby polovodičov, ako napr. predlžovanie, vstrekovanie iónov, miešanie, premývanie a vytváranie masky, čo dnes nazývame elektronický špeciálny plyn, ako je vysoko čistý SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 atď.
V celom výrobnom procese polovodičového priemyslu, od rastu čipov až po finálne balenie zariadenia, je takmer každý článok neoddeliteľný od elektronického špeciálneho plynu a rozmanitosti používaného plynu a vysokých požiadaviek na kvalitu, takže elektronický plyn má polovodičové materiály. “Jedlo”.
V posledných rokoch narástli hlavné čínske elektronické komponenty, ako sú polovodiče a zobrazovacie panely, v novej výrobnej kapacite a existuje silný dopyt po dovoze elektronických chemických materiálov. Postavenie elektronických plynov v polovodičovom priemysle je stále významnejšie. Domáci elektronický plynárenský priemysel bude znamenať rýchly rast.
Elektronický špeciálny plyn má veľmi vysoké požiadavky na čistotu, pretože ak čistota nie je v súlade s požiadavkami, skupiny nečistôt ako vodná para a kyslík v elektronickom špeciálnom plyne ľahko vytvoria oxidový film na povrchu polovodiča, ktorý ovplyvňuje životnosť elektronických zariadení a elektronický špeciálny plyn obsahuje Častice nečistôt môžu spôsobiť skrat polovodičov a poškodenie obvodu. Dá sa povedať, že zlepšenie čistoty hrá zásadnú úlohu vo výťažnosti a výkonnosti výroby elektronických zariadení.
S neustálym rozvojom polovodičového priemyslu sa proces výroby čipov neustále zlepšuje a teraz dosiahol 5 nm, čo sa blíži k hranici Moorovho zákona, ktorá je ekvivalentná jednej dvadsatine priemeru ľudského vlasu ( asi 0,1 mm). To tiež kladie vyššie požiadavky na čistotu elektronického špeciálneho plynu produkovaného polovodičmi.
Čas odoslania: 15. decembra 2021
