V roku 2018 dosiahol globálny trh s elektronickými plynmi pre integrované obvody hodnotu 4,512 miliardy USD, čo predstavuje medziročný nárast o 16 %. Vysoká miera rastu odvetvia elektronických špeciálnych plynov pre polovodiče a obrovská veľkosť trhu urýchlili plán domácej substitúcie elektronických špeciálnych plynov!
Čo je elektrónový plyn?
Elektronický plyn sa vzťahuje na základný východiskový materiál používaný pri výrobe polovodičov, plochých displejov, svetelných diód, solárnych článkov a iných elektronických výrobkov a široko sa používa pri čistení, leptaní, tvorbe filmov, dopovaní a iných procesoch. Medzi hlavné oblasti použitia elektronického plynu patrí elektronický priemysel, solárne články, mobilná komunikácia, automobilová navigácia a automobilové audio a video systémy, letecký priemysel, vojenský priemysel a mnoho ďalších oblastí.
Elektronické špeciálne plyny možno rozdeliť do siedmich kategórií podľa ich chemického zloženia: kremík, arzén, fosfor, bór, hydrid kovu, halogenid a alkoxid kovu. Podľa rôznych metód aplikácie v integrovaných obvodoch ich možno rozdeliť na dopujúci plyn, epitaxný plyn, plyn na iónovú implantáciu, plyn na svetelnú diódu, leptací plyn, plyn na chemické nanášanie pár a vyrovnávací plyn. V polovodičovom priemysle sa používa viac ako 110 druhov špeciálnych plynov, z ktorých viac ako 30 sa používa bežne.
Vo všeobecnosti sa v odvetví výroby polovodičov plyny delia na dva typy: bežné plyny a špeciálne plyny. Bežne používaný plyn sa vzťahuje na centralizovaný zdroj a spotrebuje veľa plynu, ako napríklad N2, H2, O2, Ar, He atď. Špeciálny plyn sa vzťahuje na niektoré chemické plyny používané v procese výroby polovodičov, ako je extenzácia, vstrekovanie iónov, miešanie, premývanie a tvorba masky, čo dnes nazývame elektronický špeciálny plyn, ako napríklad vysoko čistý SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 atď.
V celom výrobnom procese polovodičového priemyslu, od rastu čipov až po konečné balenie zariadenia, je takmer každý článok neoddeliteľný od elektronického špeciálneho plynu a rozmanitosti použitého plynu a vysokých požiadaviek na kvalitu, takže elektronický plyn má polovodičové materiály. „Potraviny“.
V posledných rokoch sa v Číne zvýšila výrobná kapacita hlavných elektronických súčiastok, ako sú polovodiče a zobrazovacie panely, a existuje silný dopyt po substitúcii dovozu elektronických chemických materiálov. Postavenie elektronických plynov v polovodičovom priemysle sa stalo čoraz významnejším. Domáci priemysel elektronických plynov bude znamenať rýchly rast.
Špeciálny plyn pre elektroniku má veľmi vysoké požiadavky na čistotu, pretože ak čistota nespĺňa požiadavky, nečistoty, ako je vodná para a kyslík v špeciálnom plyne pre elektroniku, ľahko vytvoria oxidový film na povrchu polovodiča, čo ovplyvňuje životnosť elektronických zariadení. Častice nečistôt v špeciálnom plyne pre elektroniku môžu spôsobiť skraty polovodičov a poškodenie obvodu. Dá sa povedať, že zlepšenie čistoty zohráva kľúčovú úlohu vo výťažnosti a výkonnosti výroby elektronických zariadení.
S neustálym rozvojom polovodičového priemyslu sa proces výroby čipov neustále zlepšuje a teraz dosiahol 5 nm, čo sa blíži k hranici Moorovho zákona, ktorá zodpovedá jednej dvadsiatine priemeru ľudského vlasu (približne 0,1 mm). Preto sa kladú aj vyššie požiadavky na čistotu špeciálneho elektronického plynu produkovaného polovodičmi.
Čas uverejnenia: 15. decembra 2021
