Chlorid vodíkaje bezfarebný plyn so štipľavým zápachom. Jeho vodný roztok sa nazýva kyselina chlorovodíková, známa tiež ako kyselina chlorovodíková. Chlorid vodíka je veľmi rozpustný vo vode. Pri 0 ° C môže 1 objem vody rozpustiť asi 500 objemov chloridu vodíka.

Má nasledujúce vlastnosti a vlastnosti:

1. Vysoká čistota

Čistota elektronického stupňachlorid vodíkaje veľmi vysoký, zvyčajne na PPM alebo na nižšej úrovni, aby sa zabezpečilo, že do procesu výroby polovodičov nie sú zavedené žiadne nečistoty.

2. Inerta

Je to chemicky inertný plyn, ktorý nereaguje s mnohými inými látkami, čo je veľmi dôležité na zabránenie kontaminácie polovodičových materiálov a zariadení.

3. Vysoká stabilita

Elektronický stupeňchlorid vodíkaVšeobecne má stabilnú chémiu na zabezpečenie spoľahlivého spracovania polovodičov.

V polovodičovom spracovaní zahŕňajú hlavné aplikácie elektronického chloridu vodíka:

1. Čistenie a príprava povrchu

Ako efektívny povrchový čistiaci prostriedok, elektronický stupeňchlorid vodíkasa používa na odstránenie oxidov a nečistôt z povrchu substrátu, aby sa zabezpečila kvalita a čistota epitaxnej vrstvy alebo filmu.

2. Epitaxial Rast Aid

V epitaxiálnom procese, ktorý sa používa ako činidlo povrchovej úpravy, pomáha zlepšovať kvalitu epitaxnej vrstvy, zlepšuje porovnávanie mriežky a znižuje tvorbu defektov mriežky.

3. Predbežné ošetrenie substrátu

Pred prípravou polovodičových zariadení, elektronická triedachlorid vodíkaMôže sa použiť na ošetrenie povrchu substrátu za vzniku stabilnej bázy na zlepšenie adhézie medzi epitaxnou vrstvou a substrátom.

4. Pomocný agent

V procese ukladania chemickej pary (CVD) alebo fyzikálneho ukladania pary (PVD) sa môže elektronický chlorid vodíka použiť ako médium prenosu plynovej fázy na účasť na depozičnej reakcii polovodičových materiálov.

5. Prenosové činidlo pre plynnú fázu

Ako činidlo prenosu plynnej fázy sa do reakčnej komory zavádzajú ďalšie plynné prekurzory, ktoré pomôžu upraviť rýchlosť depozície a rovnomernosť materiálu.

Tieto vlastnosti vytvárajú elektronickú trieduchlorid vodíkaDôležitým spracovateľským činidlom v polovodičovej technológii, ktorý má kľúčový vplyv na výkon a spoľahlivosť konečného zariadenia.

Okrem použitia v polovodičovom spracovaní môže elektronický chlorid vodíka nájsť rôzne použitia v iných oblastiach vrátane: prípravy materiálov s vysokou čistotou, palivových článkov, rastu polovodičového materiálu, litografie v parnej fáze, analýza materiálu, chemický výskum.

Všeobecne platí, že elektronická triedachlorid vodíkaje všestranný plyn s vysokou čistotou, ktorý má širokú škálu aplikácií mimo výroby polovodičov.