Chlorovodíkje bezfarebný plyn so štipľavým zápachom. Jeho vodný roztok sa nazýva kyselina chlorovodíková, tiež známa ako kyselina chlorovodíková. Chlorovodík je veľmi dobre rozpustný vo vode. Pri teplote 0 °C sa v 1 objeme vody rozpustí približne 500 objemov chlorovodíka.

Má nasledujúce vlastnosti a charakteristiky:

1. Vysoká čistota

Čistota elektronickej kvalitychlorovodíkje veľmi vysoká, zvyčajne na úrovni ppm alebo nižšej, aby sa zabezpečilo, že do procesu výroby polovodičov nebudú zavádzané žiadne nečistoty.

2. Inertnosť

Je to chemicky inertný plyn, ktorý nereaguje s mnohými inými látkami, čo je veľmi dôležité na zabránenie kontaminácie polovodičových materiálov a zariadení.

3. Vysoká stabilita

Elektronická triedachlorovodíkmá vo všeobecnosti stabilné chemické zloženie, aby sa zabezpečilo spoľahlivé spracovanie polovodičov.

Pri spracovaní polovodičov patria medzi hlavné aplikácie chlorovodíka elektronickej kvality:

1. Čistenie a príprava povrchu

Ako účinný čistič povrchov, elektronická kvalitachlorovodíkPoužíva sa na odstránenie oxidov a nečistôt z povrchu substrátu, aby sa zabezpečila kvalita a čistota epitaxnej vrstvy alebo filmu.

2. Epitaxná rastová pomôcka

Používa sa ako prostriedok na povrchovú úpravu v epitaxnom procese, pomáha zlepšovať kvalitu epitaxnej vrstvy, zlepšovať mriežkové prispôsobenie a znižovať tvorbu mriežkových defektov.

3. Predúprava podkladu

Pred prípravou polovodičových súčiastok, elektronickej triedychlorovodíkmôže sa použiť na úpravu povrchu substrátu za účelom vytvorenia stabilného podkladu na zlepšenie adhézie medzi epitaxnou vrstvou a substrátom.

4. Pomocné činidlo na nanášanie

V procese chemickej depozície z pár (CVD) alebo fyzikálnej depozície z pár (PVD) sa môže ako prenosové médium v ​​plynnej fáze použiť chlorovodík elektronickej kvality, ktorý sa zúčastňuje na depozičnej reakcii polovodičových materiálov.

5. Činidlo prenosu v plynnej fáze

Ako činidlo pre prenos v plynnej fáze sa do reakčnej komory zavádzajú ďalšie plynné prekurzory, ktoré pomáhajú upraviť rýchlosť nanášania a rovnomernosť materiálu.

Vďaka týmto vlastnostiam je elektronická triedachlorovodíkdôležitý procesný prostriedok v polovodičovej technológii, ktorý má kľúčový vplyv na výkon a spoľahlivosť konečného zariadenia.

Okrem použitia pri spracovaní polovodičov môže chlorovodík elektronickej kvality nájsť rôzne využitie v iných oblastiach, vrátane: prípravy vysoko čistých materiálov, palivových článkov, rastu polovodičových materiálov, litografie v plynnej fáze, analýzy materiálov a chemického výskumu.

Vo všeobecnosti, elektronická triedachlorovodíkje všestranný plyn s vysokou čistotou, ktorý má široké spektrum aplikácií aj mimo výroby polovodičov.