Bór trichlorid (BCL3)je anorganická zlúčenina, ktorá sa bežne používa pri procesoch suchého leptania a chemického depozície pár (CVD) vo výrobe polovodičov. Je to bezfarebný plyn so silným štipľavým zápachom pri teplote miestnosti a je citlivý na vlhký vzduch, pretože hydrolyzuje, aby produkoval kyselinu chlorovodíkovú a kyselinu boricu.

Aplikácie bóru trichloridu

V polovodičovom priemysle,Trichlorid bórusa používa hlavne na suché leptanie hliníka a ako dopant na tvorbu oblastí typu p na kremíkových doštičkách. Môže sa tiež použiť na leptanie materiálov, ako sú GAAS, SI, ALN a ako zdroj bóru v určitých konkrétnych aplikáciách. Okrem toho sa bór trichlorid široko používa pri spracovaní kovov, sklenenom priemysle, chemickej analýze a laboratórnom výskume.

Bezpečnosť bóru trichloridu

Trichlorid bóruje korozívny a toxický a môže spôsobiť vážne poškodenie očí a pokožky. Hydrolyzuje vo vlhkom vzduchu, aby uvoľnil toxický plynný chlorid vodíka. Preto je potrebné prijať vhodné bezpečnostné opatrenia pri manipuláciiTrichlorid bóru, vrátane nosenia ochranných odevov, okuliarov a zariadení na ochranu dýchacích ciest a prevádzky v dobre vetranom prostredí.