Chlorid boritý (BCl3)je anorganická zlúčenina bežne používaná v procesoch suchého leptania a chemického nanášania z pár (CVD) pri výrobe polovodičov. Je to bezfarebný plyn so silným štipľavým zápachom pri izbovej teplote a je citlivý na vlhký vzduch, pretože hydrolyzuje za vzniku kyseliny chlorovodíkovej a kyseliny boritej.

Aplikácie chloridu bóritého

V polovodičovom priemysle,Chlorid bóruPoužíva sa hlavne na suché leptanie hliníka a ako dopant na vytváranie oblastí typu P na kremíkových doštičkách. Môže sa tiež použiť na leptanie materiálov, ako sú GaAs, Si, AlN, a ako zdroj bóru v určitých špecifických aplikáciách. Okrem toho sa chlorid boritý široko používa v spracovaní kovov, sklárskom priemysle, chemickej analýze a laboratórnom výskume.

Bezpečnosť chloridu bóritého

Chlorid bóruje korozívny a toxický a môže spôsobiť vážne poškodenie očí a pokožky. Vo vlhkom vzduchu hydrolyzuje za vzniku toxického plynného chlorovodíka. Preto je pri manipulácii potrebné prijať vhodné bezpečnostné opatrenia.Chlorid bóruvrátane nosenia ochranného odevu, ochranných okuliarov a prostriedkov na ochranu dýchacích ciest a práce v dobre vetranom prostredí.